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北京广东会信息科学研究院

低温物性测量分析系统

用于半导体广东会器件的物性表征

300

2024年4月

2

北京广东会信息科学研究院

稀释制冷机

用于半导体广东会比特测控

880

2024年5月

3

北京广东会信息科学研究院

电感耦合等离子体增强型化学气相沉积系统

用于广东会器件制备中的介质层生长

150

2024年5月

4

北京广东会信息科学研究院

液氮循环系统

用于给分子束外延系统提供低温环境

120

2024年5月